一家专注流体压力成形技术
【作 者】廖政堂
【前 言】
ITO 是氧化铟锡的英文缩写，电阻率低以及透光率高是它的特点，所以 ITO 靶材非常适合制作太阳能电池、显示器以及导电玻璃。在液晶显示器领域，越来越大的屏幕，色彩的要求越来越高，ITO 的发展举足轻重。成形工艺决定着 ITO靶材的质量。ITO 靶材成形技术基本上可分为两种：干法和湿法。干法的优点是生产方便，不需要进行干燥处理，通过压力成形。湿法成形是需要各种形态的物体混合进行反应，之后进行干燥处理，制作出来的靶材尺寸都比较大。
【展 望】
智能行业的兴起，需要有屏幕显示的支撑，对 ITO 靶材的需求量越来越多。我国制作 ITO 靶材的工艺虽多，但是需要找出一个最适合的，对制作出来的 ITO 靶材需要具有高密度，电阻率低的特点，另外尺寸可以任意定制。现阶段，我国高端 LCD 面板的使用还主要依靠着进口解决，注浆成形技术虽然可以制作出高密度，大尺寸的 ITO 靶材，但是对于一些高端产品还有一定的差距，而且在制作时，添加了太多的化学药品，会出现溅射镀膜结瘤的问题。模压成形+冷等静压工艺虽然添加的化学药品较少，但是受到压机和模具尺寸的约束，制作大尺寸 ITO 靶材难度较大，成本也较高。目前已有国内厂家采取模压成形+冷等静压成型工艺，突破了技术瓶颈，靶材产品通过了京东方、华星光电、天马等国内高端面板厂商的测试认证，并逐步批量化供应，开始进行国产化替代。为了早日实现 ITO 靶材自主国产，需要在成形工艺和烧结阶段做更多的研究，打造出一套完整成形工序。
以下是正文：
